雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
以雷射直寫技術製作三維微影圖形之研究
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本論文利用雷射書寫系統利用灰階直寫之方式直寫於光阻上,製作三維微影圖形;先以AutoCAD繪製出所需圖案,經由DWL66之轉檔程式將之轉成機械碼後,不需使用光罩,利用DWL ...
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